SCIENZE CHIMICHEScienze chimicheAnno accademico 2022/2023

9794366 - METODOLOGIE CHIMICO-FISICHE PER LE NANOTECNOLOGIE

Docente: NUNZIO TUCCITTO

Risultati di apprendimento attesi

Il corso si propone di fornire conoscenze avanzate sulle metodologie per la preparazione e caratterizzazione di superfici e materiali micro e nano strutturati.

Modalità di svolgimento dell'insegnamento

Didattica frontale

Prerequisiti richiesti

Conoscenze di base di matematica, fisica, chimica-fisica (almeno un corso universitario per ciascuna delle tre materie).

Frequenza lezioni

Come da regolamento didattico

Contenuti del corso

Processi di trasporto nei materiali.

Trasporto di massa e leggi della diffusione; soluzione dell’equazione della diffusione per alcuni sistemi semplici. Processi di separazione di fase. Decomposizione spinodale, nucleazione e crescita.

Metodi per l’ottenimento di sistemi micro- e nano strutturati.

Metodologie di patterning. Approcci top-down e bottom-up. Metodi litografici: litografia ottica, e-beam ed ion-beam lithography. Soft lithography. Metodologie di patterning non litografiche.

Tecniche per la caratterizzazione chimica spazialmente risolta di film sottili e superfici.

Metodi basati su fasci ionici. Generalità. RBS, MEIS, LEIS. Spettrometria di massa di ioni secondari e tecniche correlate. Metodi basati sull’interazione con plasmi. Generalità. GD-MS. Trattamento dati.

Testi di riferimento

Gli studenti sono incoraggiati ad effettuare ricerche bibliografiche autonome. Linee guida e indicazioni sui testi, diversi per ciascuno degli argomenti trattati, verranno forniti di volta in volta dal docente. Inoltre, saranno resi disponibili i lucidi delle lezioni e, su alcuni argomenti, del materiale addizionale in formato elettronico

Autore	Titolo	Editore	Anno	ISBN