MATERIALS AND NANOSTRUCTURES LABORATORY

FIS/01 - 6 CFU - 2° semestre

Docenti titolari dell'insegnamento

RICCARDO REITANO
FRANCESCO RUFFINO


Obiettivi formativi

Il taglio di questo insegnamento è di tipo sperimentale.

Gli obbiettivi formativi specifici di questo corso sono inerenti ai tre aspetti di 1) sintesi, 2) processo, 3) caratterizzazione di nanostrutture e materiali e alla corrispondente elaborazione ed analisi dei dati sperimentali. In particolare:

Inoltre, in riferimento ai cosiddetti Descrittori di Dublino, questo corso contribuisce a acquisire le seguenti competenze trasversali:

Conoscenza e capacità di comprensione:

Capacità di applicare conoscenza:


Autonomia di giudizio:


Abilità comunicative:

Capacità di apprendimento:


Modalità di svolgimento dell'insegnamento

Lezioni frontali: 3 cfu per un totale di 21 ore

Attività di laboratorio: 3 cfu per un totale di 45 ore

Qualora l'insegnamento venisse impartito in modalità mista o a distanza potranno essere introdotte le necessarie variazioni rispetto a quanto dichiarato sopra, al fine di rispettare il programma previsto e riportato nel syllabus.


Prerequisiti richiesti

È preferibile avere acquisito conoscenze di base di Fisica dello stato solido, Fisica dei semiconduttori, Fisica dei materiali.



Frequenza lezioni

La frequenza sia alle lezioni frontali sia alle sedute in laboratorio è di norma obbligatoria.



Contenuti del corso

A) Sintesi

A.1) Lezioni frontali

- Introduzione generale alle tecniche di deposizione da fase vapore e da fase liquida di film sottili e nanostrutture su substrati (sputtering, evaporazione, epitassia da fasci molecolari, deposizione chimica da fase vapore, deposizione di strati atomici, deposizione da bagno chimico, deposizione idrotermale, deposizione elettrochimica);

- Deposizione di film sottili e nanostrutture su substrati tramite “sputtering”: principi fisici cinetici e termodinamici, parametri di deposizione fondamentali, apparati sperimentali;

A.2) Attività in laboratorio

- Deposizioni di film sottili su substrati utilizzando la tecnica di sputtering;

- Deposizione di nanostrutture da bagno chimico.

 

B) Processo

B.1) Lezioni frontali

- Introduzione generale ai processi e parametri fisici basilari coinvolti nell’evoluzione di nanostrutture e materiali sottoposti a processi termici e processi di impiantazione/irraggiamento ionico.

B.2) Attività di laboratorio

- Processi termici di film sottili depositati su substrati;

- Impiantazione ionica di film sottili o nanostrutture.

 

C) Caratterizzazione ed elaborazione dati sperimentali

C.1) Lezioni frontali

- Microscopia elettronica a scansione: principi fisici basilari, interazione elettroni-materia, apparato sperimentale;

- Microscopia a forza atomica: principi fisici basilari, il principio della sonda locale, apparato sperimentale;

- Spettrometria di retrodiffusione alla Rutherford; cinemantica di collisione; sezione d’urto; perdita energetica;

- Introduzione alla risposta ottica dei materiali, la funzione dielettrica elettronica e vibrazionale;

- Strumenti e modalità di esecuzione delle misure.

C.2) Attività di laboratorio

- Analisi di microscopia a scansione elettronica della morfologia di film sottili e nanostrutture cresciute su substrati; utilizzo di software per analisi immagini e analisi dati;

- Analisi di microscopia a forza atomica della morfologia di film sottili e nanostrutture cresciute su substrati; utilizzo di software per analisi immagini e analisi dati;

- Analisi ed elaborazione dati ottenuti dalle tecniche microscopiche e confronto tra risultati ottenuti da analisi con microscopia a scansione elettronica e microscopia a forza atomica;

- Acquisizione di spettri RBS in laboratorio e analisi degli stessi tramite software apposito (RUMP and/or SimNRA);

- Esecuzione di misure di riflettività UV-Vis e IR;

- Elaborazione e analisi quantitativa dei dati.



Testi di riferimento

1) P. M. Martin, Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings-Science, Applications, Technology, Elsevier 2005

2) K. Wasa, M. Kitabatake, H. Adachi, Thin Film Materials Technology-Sputtering of Compound Materials, William Andrew Publishing 2004

3) L. Reimer, Scanning Electron Microscopy- Physics of Image Formation and Microanalysis, Springer 1998

4) J. I. Goldstein et al., Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis, Springer 2018

5) V. L. Mironov, Fondamenti di Microscopia a scansione di Sonda, Accademia Russa delle Scienze 2004

6) A. Foster, W. Hofer, Scanning Probe Microscopy- Atomic Scale Engineering by Forces and Currents, Springer 2006.

7) L. Feldman, J. Mayer “Fundamentals of Surface and Thin Film Analysis” North-Holland Ed.

8) K.-N. Tu, J. W. Mayer, L. C. Feldman, “Electronic Thin Film Science” Macmillan Publishing Company

9) E. Rimini, “Ion Implantation: Basics to Device Fabrication”, Springer

10) K. B. Oldham and J. C. Myland, “Fundamentals of Electrochemical Science” Academic Press

11) H. Kuzmany, Solid State Spectroscopy, Addison-Wesley

12) Garcia Solé, An introduction to the Optical Spectroscopy of Inorganic Solids, John Wiley & Son


Altro materiale didattico

Tutte le informazioni logistiche e organizzative sul corso nonché materiale didattico sono pubblicate pagina del corso sul portale Studium (http://studium.unict.it) e sul sito personale del docente (https://nanostar.jimdofree.com/didattica-materials-and-nanostructures-lab/)



Programmazione del corso

 ArgomentiRiferimenti testi
1Processi di crescita di film sottili: deposizioni fisiche da fase vapore; meccanismi e parametri basilariTesti 1, 2 
2Tecnica di deposizione di film sottili e nanostrutture tramite fenomeno di sputtering: concetti basilari dell’interazione ione-materia, caratteristiche del fenomeno di sputtering, apparati di deposizione, DC-sputtering, RF-sputtering, magnetron-sputtering Testi 1, 2 
3Processi di sintesi da bagno chimico (deposizione da bagno chimico, deposizione idrotermale, deposizione elettrochimica) Testo 10 
4Processi cinetici di atomi depositati su superfici e caratteristiche generali morfologiche e strutturali di film sottili depositati su superfici tramite tecnica di sputtering Testi 1, 2  
5Deposizioni in laboratorio di film sottili su substrati utilizzando il processo di sputtering Testi 1, 2 
6Deposizioni in laboratorio di nanostrutture da bagno chimico Testo 10 
7Processo di modifica di materiali indotto da fasci ionici: teoria e laboratorio Testi 7,8,9 
8Spettrometria di retrodiffusione alla Rutherford: teoria e laboratorio Testi 7,8,9 
9Microscopia elettronica a scansione: principi fisici basilari, interazione elettroni-materia, apparato sperimentale, metodologie di analisi e acquisizione immagini, ottimizzazione dei parametri di acquisizione e della risoluzione, artefatti Testi 3, 4 
10Analisi in laboratorio delle caratteristiche morfologiche di film sottili e nanostrutture cresciute su substrati tramite microscopia elettronica a scansione, analisi immagini e analisi dati Testi 3, 4 
11Microscopie a scansione di sonda: principi fisici basilari, caratteristiche della microscopia a scansione tunnel e della microscopia a forza atomica, apparati sperimentali, metodologie di analisi e acquisizione immagini, ottimizzazione dei parametri di acquisizione e della risoluzione, artefatti Testi 5, 6 
12Analisi in laboratorio delle caratteristiche morfologiche di film sottili e nanostrutture cresciute su substrati tramite microscopia a forza atomica, analisi immagini e analisi dati Testi 5, 6 
13Descrizione delle caratteristiche basilari del software “Origin” per l’analisi dati 14) Strumentazione per spettroscopie ottiche Testi 11, 12 
14La risposta ottica dei materiali, la funzione dielettrica elettronica e vibrazionale Testi 11, 12 
15Esecuzione, calibrazione della misura e analisi dei datiTesti 11, 12 


Verifica dell'apprendimento


MODALITÀ DI VERIFICA DELL'APPRENDIMENTO

L'esame finale consiste in una tesina/presentazione (opzionale) preparata e discussa dallo studente e che includa almeno un argomento dell’ambito caratterizzazione ed elaborazione dato sperimentali. A partire, poi, dalla discussione della tesina/presentazione saranno possibili domande su tutti gli argomenti oggetto del programma.

La verifica dell’apprendimento potrà essere effettuata anche per via
telematica, qualora le condizioni lo dovessero richiedere.


ESEMPI DI DOMANDE E/O ESERCIZI FREQUENTI



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